MPI TS150 è una stazione di sonda manuale con un sistema di sonda manuale 150mm. Il suo sistema di sonda manuale è aperto, facile da usare, conveniente e altamente preciso. Questo sistema è progettato per l'analisi precisa di substrati e wafer fino a 150mm. Può essere configurato per supportare varie applicazioni come l'analisi dei guasti, la convalida di progettazione/ingegneria IC, l'affidabilità del livello del wafer, MEMS， Caratterizzazione e modellazione di dispositivi ad alta potenza e dispositivi.

2,Descrizione del prodotto

1. Progettazione multi applicazione a macchina singola

Adatto per varie applicazioni di misura del wafer, come caratterizzazione e modellazione dei componenti, affidabilità del livello del wafer (WLR), analisi dei guasti (FA), ingegneria dei circuiti integrati, sistemi microelettromeccanici (MEMS) e ad alta potenza (HP)

2. Design ergonomico

Progettazione di una piattaforma galleggiante a sgancio rapido e trascinamento dell'aria per un comodo funzionamento con una mano

Banco di lavoro durevole in grado di trasportare fino a 10 DC o 4 micro localizzatori RF

Design della maniglia di sollevamento rapido del banco di lavoro a tre stadi (caricamento della separazione del contatto), ottenendo un'elevata riproducibilità

3. Selezione elastica e aggiornabilità

Ci sono anche vari stadi del wafer che possono essere aggiornati e molti accessori come micro localizzatori DC/RF/mmW, microscopi ottici, lenti di imaging, scatole di schermatura elettromagnetica, ecc possono essere installati per supportare pienamente le esigenze dell'applicazione.

3,Caratteristiche e vantaggi

1. Air Stage

Il design unico della piattaforma per cuscinetti ad aria TS150, con un semplice controllo del disco con una sola mano, offre una comodità operativa senza precedenti, consentendo una navigazione XY veloce e un caricamento veloce dei wafer senza compromettere le capacità di posizionamento precise e accurate.

2. Comando del hover con sonda ™ Il sollevamento della piastra di pressione

La precisione di misura dipende in primo luogo dalla qualità del contatto! Il design di sollevamento della piastra a pressione altamente ripetibile (1 μ m) presenta tre posizioni distinte per contatto, separazione (300 μ m) e carico (3 mm), con un dispositivo di bloccaggio di sicurezza, tutte caratteristiche ineguagliabili nei sistemi di sonda manuali MPI. Queste funzioni possono prevenire danni accidentali alla sonda o al wafer, fornendo al contempo un controllo intuitivo e un posizionamento preciso del contatto. Questa capacità è particolarmente importante nelle applicazioni ad alta frequenza e ad alta potenza per ottenere i risultati di misura più accurati.

Per TS200 e TS300, controllo del cursore supplementare della sonda ™ Con un'altezza di galleggiamento di 50, 100 o 150 μ m, è facile e conveniente rilevare l'allineamento del pad.

3. Scala di regolazione dell'altezza

La piastra di pressione della sonda ha una regolazione fine dell'altezza di 25 mm per supportare varie applicazioni. La scala precisa unica di 1mm può fornire direttamente feedback sulla posizione corrente.

4. Design compatto e rigido della piastra di pressione

Il design compatto e robusto della piastra di pressione può ospitare fino a dieci DC o quattro MicroPositioner RF, soddisfacendo i vari requisiti applicativi.

5. Varie opzioni di morsetto

Il sistema manuale offre varie opzioni di mandrino per soddisfare diverse esigenze di budget e applicazione. La selezione del mandrino include mandrini coassiali MPI o tre assi o varie dimensioni del mandrino termico ERS che supportano la misurazione della temperatura fino a 300 ℃ - integrazione senza soluzione di continuità dei controller termici touch per accesso e funzionamento rapidi e convenienti come descritto nelle incarnazioni.

6. Mandrino ausiliario

Il mandrino RF include due mandrini ausiliari con materiali ceramici incorporati per una calibrazione RF precisa.

7. Varie opzioni ottiche e di movimento

Offriamo una varietà di componenti ottici e movimenti, disponibili in stereo per applicazioni DC/CV comuni o MPI SZ10 o MZ12 a tubo singolo per configurazioni RF. Anche dispositivi ottici ad alta potenza come Mitutoyo FS70 o Motic PSM-1000 possono essere utilizzati per applicazioni di analisi dei guasti.

8. Inclinazione ottica

Come caratteristica standard o anche un'inclinazione di 90 gradi azionata da mezzi pneumatici, l'elevatore lineare Z offre impostazioni molto convenienti e facili da sostituire le punte della sonda.

9. Piattaforma di isolamento delle vibrazioni

Tutti i sistemi manuali includono una base di assorbimento delle vibrazioni, che può raggiungere un contatto stabile e affidabile a lungo termine tra la sonda e il cuscinetto di saldatura, garantendo risultati di misurazione affidabili. Quando nell'ambiente di laboratorio è richiesta una grande quantità di protezione dalle vibrazioni, è possibile dotare facoltativamente una piattaforma di isolamento o un banco di lavoro.

10. DarkBox

Le opzioni DarkBox disponibili forniscono schermatura EMI e ambienti di prova opachi, adatti per misurazioni DC a bassissimo rumore.

4,Parametri funzionali

1. Specifiche

2. Piastra di pressione della sonda

3. Mandrino non termico